１．深冷空気分離

空気を断熱して、膨張タービンにより圧縮膨張を繰り返すと空気の温度は下がりやがて液化します。この液体空気を沸点の差を利用した精留を行い、酸素、窒素、アルゴン等に分離します。 　 空気中 酸　素 ２１％ 　 窒　素 ７８％ 　 アルゴン １％ 沸点 酸　素 −１８３℃（0.1013MPa） 　 窒　素 −１９５．８℃（0.1013MPa） 　 アルゴン −１８５．７℃（0.1013MPa）

２．ＰＳＡ法（Pressur Swing Adsorption）

吸着剤の詰まった吸着槽へ圧縮した空気を送り込むと、不必要なガスは吸着剤に吸着され必要なガスのみが分離されます。吸着されたガスは吸着槽を大気圧まで戻すことで脱着されます。この加圧、減圧を繰り返すことでガスが製造されます。窒素ＰＳＡでは吸着剤はカーボンモレキュラシーブが充填されており、この吸着剤は酸素炭酸ガス、水蒸気等を選択的に吸着します。 酸素ＰＳＡでは吸着剤は合成ゼオライトが充填されており、この吸着剤は窒素、炭酸ガス、水蒸気等を選択的に吸着します。 但し、ＰＳＡではアルゴンを吸着剤で除去する事は出来ないので製品中にアルゴンを４％程含んでいます。 窒素ＰＳＡの製品純度　９９％〜９９．９９％（約４％はアルゴン） 酸素ＰＳＡの製品純度　９５％（約４％はアルゴン）

３．膜分離

空気を圧縮し膜ユニット（中空糸膜）に送り込むと膜を通過しやすい水分、酸素、炭酸ガスなどは膜を通り抜けますが、窒素、アルゴンは膜を通り抜けることができません。この方法により必要なガスを選択的に取り出します。 製品純度　９９％〜９９．９％

　

　

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